SCA610 SCA3000 SCA620 SCA1000 SCA2100 SCA3100 SCA810 SCA820 SCA830CMA3000 SCA3060

倾斜传感器

Murata Electronics Oy (以下简称为MFI) 的倾斜传感器是在已被应用于车载领域的3D MEMS技术和自主设计的数字ASIC的基础上设计开发的，是高精度水平测量及倾斜测量的不二选择。

传感器元件以及ASIC被封装在采用了LPC (液晶聚合物) 材料的双列直插型外壳中。所有型号都符合RoHS标准，皆是支持无铅回流焊的无铅部件。封装时使用的是硅凝胶，从而孕育出了即使在高湿及温度频繁变化环境下也毫不逊色的绝佳性能和可靠性。ASIC的校正系数则是被记录在EEPROM存储器中。

倾斜传感器自身具备强力的故障检测功能，即数字自检功能，存储器奇偶校验功能以及连接故障检测功能。凭借这些功能，能够有效保证测量结果的高精度和可靠性。

MFI倾斜传感器的产品群同样也包括模块和子部件。

• 高精度倾斜传感器

• 倾斜传感器模块和子部件

高精度倾斜传感器

运用了Murata Electronics Oy (以下简称MFI) 技术的倾斜传感器是高精度水准仪或倾角测量仪的最佳选择。我们以合理的价格为您提供高性能，高可靠性的传感器。MFI倾斜传感器的商品群中，精度最高的是SCA103T系列。该系列使用了2个MEMS元件来实现1轴倾斜测量，通过利用两个元件的输出差分来消除一般的错误模式及噪音的影响。

MEMS内部的阻尼效应，使得即使在恶劣环境下也能获得高精度、高可靠性的测量结果。高抗冲击性能，使得即使在移动机械、车辆、飞机、建筑工程机械和手持设备内的加速度测量也能毫无障碍地进行。

MFI倾斜传感器具有温度校正功能，在-40℃～125℃温度范围内偏移的变化很小。可以长时间持续保持极高的精度。

SCA61T/100T/103T倾斜传感器不仅有应用范围很广的模拟输出功能，同时还具有数字SPI输出功能。在数字输出下，可以读取加速度/倾斜以及温度信息。在SCA830型倾斜传感器内装有16位AD转换器，单个产品就能实现成本效益极佳的高精度倾斜传感器系统设计。

产品	轴数	量程	电源电压	输出	灵敏度	带宽	规格表
SCA100系列	2轴	±0.5/±1g ±30゜/±90゜	5V	ANALOG/ SPI	2/4V/g	18Hz	Data (PDF: 510KB)
SCA103系列	1轴	±0.26/±0.5g ±15゜/±30゜	5V	ANALOG/ SPI	8/16V/g 3277/ 6554LSB/g	18Hz	Data (PDF: 350KB)
SCA61T系列	1轴	±0.5/±1g ±30゜/±90゜ ±1g,±90゜	5V	ANALOG/ SPI	2/4V/g 819/ 1638LSB/g	18Hz	Data (PDF: 560KB)
SCA830	1轴	±1g,±90゜	3.3V	SPI/ PWM	3200LSB/g	6Hz	Data (PDF: 1.0MB)

倾斜传感器模块和子部件

SCA121T系列倾斜传感器模块

• 2轴测量倾斜传感器模块

• 模拟电压输出

• 高精度、良好的抗冲击性及耐久性、长期稳定性

• 抗震性能好

SCL1700系列倾斜传感器子部件

• 倾斜传感器子装配模块

• 用于水平安装的2轴检测 (X轴和Y轴)

• 模拟电压输出

• 良好的抗冲击性和长期稳定性

• 高分辨率

• 能够应对严酷环境的牢固性

• D01版本在安装、形状、功能这几方面都与常用的45×45mm的2轴倾斜板块匹配

• 检测范围: ±15゜

• 频率响应可调

• 具备自我诊断功能

产品	轴数	量程	电源电压	输出	灵敏度	带宽	规格表
SCA121T-D03	2轴 XY	±1g ±90゜	7V-35V	Analog	2V/g	18Hz	Data (PDF: 160KB)
SCA121T-D05	2轴 XY	±1g ±90゜	5V±0.25V	Analog	2V/g	18Hz	Data (PDF: 160KB)
SCA121T-D07	2轴 XY	±0.5 ±30゜	7V-35V	Analog	4V/g	18Hz	Data (PDF: 160KB)
SCL1700-D01	2轴 XY	±10゜	7V-35V	Analog	12V/g	3Hz	Data (PDF: 100KB)

加速度传感器

Murata Electronics Oy (以下简称MFI) 的加速度传感器采用了牢固程度得到公认的硅基电容型3D MEMS技术。传感器元件和ASIC (为了最大限度发挥传感器元件性能而设计的集成电路) 被封装在双列直插式 (Dual in-line) 或双列扁平直插式 (Dual in-flatline) LCP外壳中。与贴装或回流焊用的端子共同组装成一个整体。在将传感器元件和ASIC封装起来时使用了硅凝胶，因此具有在高温高湿环境中以及对应温度变化时的优异性能和高可靠性。测量方向根据型号的不同可与贴装面平行，也可与贴装面垂直。

在ASIC中，包含有储存着校正系数的片上EEPROM存储器。MFI的加速度传感器具有强力的故障检测功能，具体包括数字启动时的自我诊断，校正存储器的奇偶校验，总和校验以及一般情况的故障检测功能。该产品可用于水平或垂直检测，零点的温度相关系数在1mg/℃以下。传感器元件采用的是过阻尼 (通过加入惰性气体降低高频噪声) 结构。

• 汽车电子用数字输出品

• 汽车电子用模拟输出品

• 工业设备用加速度传感器

汽车电子用数字输出品

符合汽车行业品质规范的SCA8X0/21X0/3100加速度传感器产品系列

SCA8X0/21X0/3100系列可被整合在车辆的安全系统以及电子车辆控制系统中，是针对以上系统开发的传感器产品。这些汽车用数字输出传感器具有出色的可靠性和性能以及超高的性价比。

SCA8X0/21X0/3100系列加速度传感器的测量范围为±2g/±6g。1轴、2轴、3轴的加速度传感器采用了相同的引脚配置，因此可以实现在相同基板上改变检测轴数，而无需改变电路设计。电源电压为3.3V，支持SPI数据传输方式，并具有强大的自检功能。测量轴并不仅仅可以是X、Y、Z中的单一轴向，所有方向 (2轴以及3轴) 复合而成的轴向也可以作为检测轴。SCA8X0/21X0/3100系列产品符合汽车行业品质规范AEC Q100 Grade 1 (温度范围 -40℃～+125℃) 。

在应用领域，该系列产品可被应用于电子稳定性控制系统 (ESC) 、上坡起步辅助系统 (HSA) 、电子驻车制动系统 (EPB) 、翻滚检测以及电子控制式悬架系统等。在这些系统内部，都需要用到单轴或多轴的加速度检测。

产品	轴数	量程	温度相关偏移量	输出	带宽	规格表
SCA3100-D04	3轴	±2.0g	70mg	SPI	45Hz	Data (PDF: 160KB)
SCA3100-D07	3轴	±6.0g	70mg	SPI	45Hz	Data (PDF: 110KB)
SCA2120-D07	2轴	±2.0g	70mg	SPI	45Hz	Data (PDF: 220KB)
SCA2110-D03	2轴	±2.0g	70mg	SPI	45Hz	Data (PDF: 120KB)
SCA2100-D01	2轴	±2.0g	70mg	SPI	45Hz	Data (PDF: 220KB)
SCA830-D05	1轴	±2.0g	70mg	SPI	50Hz	Data (PDF: 90KB)
SCA820-D03	1轴	±2.0g	70mg	SPI	50Hz	Data (PDF: 100KB)

汽车电子用模拟输出品

SCA1000/1020系列-2轴加速度传感器

• 模拟 (0～5V) 和数字输出SPI接口

• 2轴测量: X-Y测量或Z-Y测量

• 测量范围±1.7g (X-Y和Z-Y) 、±4g (X-Y)

• 可与SCA610/620相互替代

• 内含可通过SPI进行数据读取的温度传感器

• 按照无铅加工工艺生产出的完全无铅部件

• 适用于AEC Q-100

SCA610/620系列-1轴加速度传感器

• 可进行X轴向或Z轴向的测量

• 测量范围±0.5g～±1.7g

• 模拟输出 (0～5V)

• 按照无铅加工工艺生产出的完全无铅部件

• 适用于AEC Q-100

产品	轴数	量程	温度相关偏移量	输出	带宽	规格表
SCA1000-D01	2轴XY	±1.7g	100mg	Analog /SPI	50Hz	Data (PDF: 380KB)
SCA1020-D06	2轴XY	±1.7g	100mg	Analog /SPI	50Hz	Data (PDF: 350KB)
SCA610-E23H1Ab	1轴	±1.5g	125mg	Analog	50Hz	Data (PDF: 200KB)
SCA610-E28H1A	1轴	±1.7g	125mg	Analog	50Hz	Data (PDF: 280KB)
SCA61T-FA1H1G	1轴	±1.0g	2.86゜	Analog	18Hz	Data (PDF: 560KB)
SCA61T-FAHH1G	1轴	±0.5g	2.86゜	Analog	18Hz	Data (PDF: 560KB)
SCA61T-EG4V1B	1轴Z	±1.5g	125mg	Analog	50Hz	Data (PDF: 180KB)

工业设备用加速度传感器

针对要求高可靠性及高性能的汽车产业开发的技术，也同样可以满足航天产业、医疗器械和工业设备等领域对可靠性和性能的要求。

由于MEMS传感元件采用了过阻尼加工技术 (充入惰性气体以降低高频噪声) ，因此即使在恶劣的振动环境中，也能获得高精度、高可靠性的测量结果。产品所具有的良好的抗冲击、抗振动性能，使得在搬运机械、车辆、飞机、建筑机械中也能毫无障碍地进行加速度测量。

产品	轴数	量程	电源电压	输出	规格表
SCA3100-D04	3轴	±2g	3.3V	SPI	Data (PDF: 160KB)
SCA3100-D07		±6g			Data (PDF: 110KB)
SCA2100-D02	2轴	±2g	3.3V	SPI	Data (PDF: 260KB)
SCA1000	2轴	±1.7g	5V	Analog/SPI	Data (PDF: 380KB)
SCA1000N		±4g			Data (PDF: 520KB)
SCA820-D04	1轴	±2g	3.3V	SPI/PWM	Data (PDF: 160KB)
SCA830-D06					Data (PDF: 160KB)
SCA620系列	1轴	±1.7g,±12g	5V	Analog	Data (PDF: 150KB)
SCA100T-D07	2轴	±12g	5V	Analog/SPI	Data (PDF: 470KB)

陀螺仪

Murata Electronics Oy (以下简称MFI) 开发、制造的陀螺仪可被广泛应用于各类工业设备以及消费电子应用领域。各种型号的高性能陀螺仪都采用了MFI的3D MEMS技术和尖端的集成电路技术。

面向工业设备的陀螺仪产品能够以合理的价格为您提供在此之前只有昂贵的模块型产品才具有的性能。从而使陀螺仪能够以极低的成本被运用在所有领域的产品中。传感元件和测量电路被装配在预先成形的双列直插式 (DIL-Dual In-line) 外壳中，并通过填充硅凝胶起到保护作用，并通过不锈钢盖板来完成最后的封装。该产品符合RoHS标准，特别适用于无铅回流焊工艺。

面向消费电子的陀螺仪产品是从2010年11月开始销售的。该产品通过晶圆级封装实现了极小的尺寸。通过简单并低耗电的相移读出电路和晶圆级正交相位信号设计这两项专利技术，实现了长时间的稳定性。

• 陀螺仪组合传感器 SCC1300

• 工业设备的陀螺仪 SCR1100

陀螺仪组合传感器 SCC1300

陀螺仪组合传感器 SCC1300 (陀螺仪加速度计一体型传感器)

Murata Electronics Oy的新型陀螺仪组合传感器 (陀螺仪加速度计一体型传感器) SCC1300具备良好的偏压稳定性和抗震性以及低噪音特性。对于要求传感器具备高性能、高可靠性的工业应用来说，是最理想的传感器产品。典型用途有: MEMS惯性测量装置 (IMU: inertial measurement units, 又被称为惯性测量装置) ，平台控制，动作分析控制，以及制导系统和导航系统等。

该产品中的陀螺仪和加速度计经由各自对应的SPI端口以数字方式进行输出。结构框图如下所示。

SCC1300陀螺仪组合传感器正常工作的温度范围为-40℃～+125℃。陀螺仪和加速度计的输出都经过温度校正，以保证提供给客户最好的性能。SCC1300-D02中的陀螺仪偏压稳定性 (Allan方差) 不足1゜/h，全温度范围内陀螺仪偏压精度低于±0.6゜/s。加速度传感器的偏移稳定性为±18mg。陀螺仪以及加速度计在应对机械撞击和震动时十分牢固，即使在恶劣条件下也能工作。组件的尺寸为18.65mm×8.5mm×4.53mm (长×宽×高) 。

测量范围为±100゜/s或±300゜/s，相应的加速度范围为±2g或±6g。其他型号产品的参数如下表所示。

产品	轴数	量程	规格表
SCC1300-D02	X-yaw, 3-axis acceleration	±100゜/s, ±2.0g	Data (PDF: 580KB)
SCC1300-D04	X-yaw, 3-axis acceleration	±300゜/s, ±6.0g	Data (PDF: 1.3MB)

工业设备的陀螺仪 SCR1100

Murata Electronics Oy的SCR1100陀螺仪产品系列具有近乎飞行器级别的偏压稳定性、抗震性以及绝佳的噪声特性。该产品最适合被用于工业设备相关的应用中。具有代表性的应用有MEMS惯性测量单元 (IMU: interial measurement units，也被称为惯性测量装置) ，升降平台的控制及平稳化，动作分析控制，致导系统和导航系统等。

SCR100陀螺仪正常工作的温度范围可以达到-40℃～+125℃。角速度输出附带了温度校正功能，可提供给终端用户最佳的性能。SCR1100-D02型陀螺仪的偏压稳定性 (Allan方差) 低于1°/h，整个温度范围内的偏压稳定性低于±0.6°/s。SCR1100是配备了有PI输入端口的数字输出品。器件尺寸为18.65mm×8.5mm×4.53mm (长×宽×高) 。

SCR1100系列的具体型号有SCR1100-D02 (范围为±100°/sec) ，SCR1100-D04 (范围为±300°/sec) 。

产品	轴数	量程	规格表
SCR1100-D02	X-yaw	±100゜/s	Data (PDF: 690KB)
SCR1100-D04	X-yaw	±300゜/s	Data (PDF: 690KB)

　

加速度传感器/速度传感器/角速度传感器
	AD品牌	ADXL105AQC	ADXL150	ADXL202	ADXL203
		ADXL210	ADXL103	ADXL320	ADXL250
		ADXL321	ADXL311	ADXL322	ADXL330
	角速度	ADXRS150	ADXRS300	ADXRS400
	光电转速	磁电转速