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| 产品 | 轴数 | 量程 | 电源电压 | 输出 | 灵敏度 | 带宽 | 规格表 | 
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| SCA100系列 | 2轴 | ±0.5/±1g ±30゜/±90゜ | 5V | ANALOG/ SPI | 2/4V/g | 18Hz | Data  (PDF: 510KB) | 
| SCA103系列 | 1轴 | ±0.26/±0.5g ±15゜/±30゜ | 5V | ANALOG/ SPI | 8/16V/g 3277/ 6554LSB/g | 18Hz | Data  (PDF: 350KB) | 
| SCA61T系列 | 1轴 | ±0.5/±1g ±30゜/±90゜ ±1g,±90゜ | 5V | ANALOG/ SPI | 2/4V/g 819/ 1638LSB/g | 18Hz | Data  (PDF: 560KB) | 
| SCA830 | 1轴 | ±1g,±90゜ | 3.3V | SPI/ PWM | 3200LSB/g | 6Hz | Data  (PDF: 1.0MB) | 


| 产品 | 轴数 | 量程 | 电源电压 | 输出 | 灵敏度 | 带宽 | 规格表 | 
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| SCA121T-D03 | 2轴 XY | ±1g ±90゜ | 7V-35V | Analog | 2V/g | 18Hz | Data  (PDF: 160KB) | 
| SCA121T-D05 | 2轴 XY | ±1g ±90゜ | 5V±0.25V | Analog | 2V/g | 18Hz | Data  (PDF: 160KB) | 
| SCA121T-D07 | 2轴 XY | ±0.5 ±30゜ | 7V-35V | Analog | 4V/g | 18Hz | Data  (PDF: 160KB) | 
| SCL1700-D01 | 2轴 XY | ±10゜ | 7V-35V | Analog | 12V/g | 3Hz | Data  (PDF: 100KB) | 
加速度传感器
Murata Electronics Oy (以下简称MFI) 的加速度传感器采用了牢固程度得到公认的硅基电容型3D MEMS技术。传感器元件和ASIC (为了最大限度发挥传感器元件性能而设计的集成电路) 被封装在双列直插式 (Dual in-line) 或双列扁平直插式 (Dual in-flatline) LCP外壳中。与贴装或回流焊用的端子共同组装成一个整体。在将传感器元件和ASIC封装起来时使用了硅凝胶,因此具有在高温高湿环境中以及对应温度变化时的优异性能和高可靠性。测量方向根据型号的不同可与贴装面平行,也可与贴装面垂直。
在ASIC中,包含有储存着校正系数的片上EEPROM存储器。MFI的加速度传感器具有强力的故障检测功能,具体包括数字启动时的自我诊断,校正存储器的奇偶校验,总和校验以及一般情况的故障检测功能。该产品可用于水平或垂直检测,零点的温度相关系数在1mg/℃以下。传感器元件采用的是过阻尼 (通过加入惰性气体降低高频噪声) 结构。

SCA8X0/21X0/3100系列可被整合在车辆的安全系统以及电子车辆控制系统中,是针对以上系统开发的传感器产品。这些汽车用数字输出传感器具有出色的可靠性和性能以及超高的性价比。
SCA8X0/21X0/3100系列加速度传感器的测量范围为±2g/±6g。1轴、2轴、3轴的加速度传感器采用了相同的引脚配置,因此可以实现在相同基板上改变检测轴数,而无需改变电路设计。电源电压为3.3V,支持SPI数据传输方式,并具有强大的自检功能。测量轴并不仅仅可以是X、Y、Z中的单一轴向,所有方向 (2轴以及3轴) 复合而成的轴向也可以作为检测轴。SCA8X0/21X0/3100系列产品符合汽车行业品质规范AEC Q100 Grade 1 (温度范围 -40℃~+125℃) 。
在应用领域,该系列产品可被应用于电子稳定性控制系统 (ESC) 、上坡起步辅助系统 (HSA) 、电子驻车制动系统 (EPB) 、翻滚检测以及电子控制式悬架系统等。在这些系统内部,都需要用到单轴或多轴的加速度检测。
| 产品 | 轴数 | 量程 | 温度相关偏移量 | 输出 | 带宽 | 规格表 | 
|---|---|---|---|---|---|---|
| SCA3100-D04 | 3轴 | ±2.0g | 70mg | SPI | 45Hz | Data  (PDF: 160KB) | 
| SCA3100-D07 | 3轴 | ±6.0g | 70mg | SPI | 45Hz | Data  (PDF: 110KB) | 
| SCA2120-D07 | 2轴 | ±2.0g | 70mg | SPI | 45Hz | Data  (PDF: 220KB) | 
| SCA2110-D03 | 2轴 | ±2.0g | 70mg | SPI | 45Hz | Data  (PDF: 120KB) | 
| SCA2100-D01 | 2轴 | ±2.0g | 70mg | SPI | 45Hz | Data  (PDF: 220KB) | 
| SCA830-D05 | 1轴 | ±2.0g | 70mg | SPI | 50Hz | Data  (PDF: 90KB) | 
| SCA820-D03 | 1轴 | ±2.0g | 70mg | SPI | 50Hz | Data  (PDF: 100KB) | 


| 产品 | 轴数 | 量程 | 温度相关偏移量 | 输出 | 带宽 | 规格表 | 
|---|---|---|---|---|---|---|
| SCA1000-D01 | 2轴XY | ±1.7g | 100mg | Analog /SPI | 50Hz | Data  (PDF: 380KB) | 
| SCA1020-D06 | 2轴XY | ±1.7g | 100mg | Analog /SPI | 50Hz | Data  (PDF: 350KB) | 
| SCA610-E23H1Ab | 1轴 | ±1.5g | 125mg | Analog | 50Hz | Data  (PDF: 200KB) | 
| SCA610-E28H1A | 1轴 | ±1.7g | 125mg | Analog | 50Hz | Data  (PDF: 280KB) | 
| SCA61T-FA1H1G | 1轴 | ±1.0g | 2.86゜ | Analog | 18Hz | Data  (PDF: 560KB) | 
| SCA61T-FAHH1G | 1轴 | ±0.5g | 2.86゜ | Analog | 18Hz | Data  (PDF: 560KB) | 
| SCA61T-EG4V1B | 1轴Z | ±1.5g | 125mg | Analog | 50Hz | Data  (PDF: 180KB) | 

针对要求高可靠性及高性能的汽车产业开发的技术,也同样可以满足航天产业、医疗器械和工业设备等领域对可靠性和性能的要求。
由于MEMS传感元件采用了过阻尼加工技术 (充入惰性气体以降低高频噪声) ,因此即使在恶劣的振动环境中,也能获得高精度、高可靠性的测量结果。产品所具有的良好的抗冲击、抗振动性能,使得在搬运机械、车辆、飞机、建筑机械中也能毫无障碍地进行加速度测量。
| 产品 | 轴数 | 量程 | 电源电压 | 输出 | 规格表 | 
|---|---|---|---|---|---|
| SCA3100-D04 | 3轴 | ±2g | 3.3V | SPI | Data  (PDF: 160KB) | 
| SCA3100-D07 | ±6g | Data  (PDF: 110KB) | |||
| SCA2100-D02 | 2轴 | ±2g | 3.3V | SPI | Data  (PDF: 260KB) | 
| SCA1000 | 2轴 | ±1.7g | 5V | Analog/SPI | Data  (PDF: 380KB) | 
| SCA1000N | ±4g | Data  (PDF: 520KB) | |||
| SCA820-D04 | 1轴 | ±2g | 3.3V | SPI/PWM | Data  (PDF: 160KB) | 
| SCA830-D06 | Data  (PDF: 160KB) | ||||
| SCA620系列 | 1轴 | ±1.7g,±12g | 5V | Analog | Data  (PDF: 150KB) | 
| SCA100T-D07 | 2轴 | ±12g | 5V | Analog/SPI | Data  (PDF: 470KB) | 
陀螺仪
Murata Electronics Oy (以下简称MFI) 开发、制造的陀螺仪可被广泛应用于各类工业设备以及消费电子应用领域。各种型号的高性能陀螺仪都采用了MFI的3D MEMS技术和尖端的集成电路技术。
面向工业设备的陀螺仪产品能够以合理的价格为您提供在此之前只有昂贵的模块型产品才具有的性能。从而使陀螺仪能够以极低的成本被运用在所有领域的产品中。传感元件和测量电路被装配在预先成形的双列直插式 (DIL-Dual In-line) 外壳中,并通过填充硅凝胶起到保护作用,并通过不锈钢盖板来完成最后的封装。该产品符合RoHS标准,特别适用于无铅回流焊工艺。
面向消费电子的陀螺仪产品是从2010年11月开始销售的。该产品通过晶圆级封装实现了极小的尺寸。通过简单并低耗电的相移读出电路和晶圆级正交相位信号设计这两项专利技术,实现了长时间的稳定性。

Murata Electronics Oy的新型陀螺仪组合传感器 (陀螺仪加速度计一体型传感器) SCC1300具备良好的偏压稳定性和抗震性以及低噪音特性。对于要求传感器具备高性能、高可靠性的工业应用来说,是最理想的传感器产品。典型用途有: MEMS惯性测量装置 (IMU: inertial measurement units, 又被称为惯性测量装置) ,平台控制,动作分析控制,以及制导系统和导航系统等。
该产品中的陀螺仪和加速度计经由各自对应的SPI端口以数字方式进行输出。结构框图如下所示。

SCC1300陀螺仪组合传感器正常工作的温度范围为-40℃~+125℃。陀螺仪和加速度计的输出都经过温度校正,以保证提供给客户最好的性能。SCC1300-D02中的陀螺仪偏压稳定性 (Allan方差) 不足1゜/h,全温度范围内陀螺仪偏压精度低于±0.6゜/s。加速度传感器的偏移稳定性为±18mg。陀螺仪以及加速度计在应对机械撞击和震动时十分牢固,即使在恶劣条件下也能工作。组件的尺寸为18.65mm×8.5mm×4.53mm (长×宽×高) 。
测量范围为±100゜/s或±300゜/s,相应的加速度范围为±2g或±6g。其他型号产品的参数如下表所示。
| 产品 | 轴数 | 量程 | 规格表 | 
|---|---|---|---|
| SCC1300-D02 | X-yaw, 3-axis acceleration | ±100゜/s, ±2.0g | Data  (PDF: 580KB) | 
| SCC1300-D04 | X-yaw, 3-axis acceleration | ±300゜/s, ±6.0g | Data  (PDF: 1.3MB) | 

Murata Electronics Oy的SCR1100陀螺仪产品系列具有近乎飞行器级别的偏压稳定性、抗震性以及绝佳的噪声特性。该产品最适合被用于工业设备相关的应用中。具有代表性的应用有MEMS惯性测量单元 (IMU: interial measurement units,也被称为惯性测量装置) ,升降平台的控制及平稳化,动作分析控制,致导系统和导航系统等。
SCR100陀螺仪正常工作的温度范围可以达到-40℃~+125℃。角速度输出附带了温度校正功能,可提供给终端用户最佳的性能。SCR1100-D02型陀螺仪的偏压稳定性 (Allan方差) 低于1°/h,整个温度范围内的偏压稳定性低于±0.6°/s。SCR1100是配备了有PI输入端口的数字输出品。器件尺寸为18.65mm×8.5mm×4.53mm (长×宽×高) 。
SCR1100系列的具体型号有SCR1100-D02 (范围为±100°/sec) ,SCR1100-D04 (范围为±300°/sec) 。
| 产品 | 轴数 | 量程 | 规格表 | 
|---|---|---|---|
| SCR1100-D02 | X-yaw | ±100゜/s | Data  (PDF: 690KB) | 
| SCR1100-D04 | X-yaw | ±300゜/s | Data  (PDF: 690KB) | 
 SCC1300陀螺仪
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| ADXL321 | ADXL311 | ADXL322 | ADXL330 | ||
| 角速度 | ADXRS400 | ||||
| 光电转速 | 磁电转速 | ||||
| 加速度传感器 | 加速度计 | 
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